中小型臭氧發生器系統由氣源系統、臭氧發生器主機、冷卻水系統、高頻電源系統、自動控制系統、在線儀表、投加系統、尾氣破壞器系統等部分組成。

       1、氣源系統：為臭氧發生器提供制備臭氧所需的原料氣。氣源系統分為空氣源、液氧源、現場制氧三大類。

       2、高頻電源系統：高頻電源系統將AC380V/50Hz的市電，轉換為臭氧發生器使用的4k-6kHz的高頻高壓電源，輸送給臭氧發生器，為發生器提供制備臭氧所需的高頻高壓電源。

       3、臭氧發生器主機：將氣源系統提供的原料氣，在高頻高壓電源的作用下進行高頻介質阻擋放電，將氧氣分解合成臭氧。

       4、冷卻水系統：冷卻水系統與用戶提供的外循環冷卻水相連接，將臭氧發生器工作過程中產生大量的熱量帶走，保障臭氧發生器工作在一個合適的溫度范圍內。

       5、自動控制系統：以PLC（可編程控制器）為控制核心，結合發生器上集成的各類傳感器、執行器，根據預先編制的控制程序，對發生器的運行進行實時監控，實現臭氧發生器全自動無人值守運行?？筛鶕脩舻漠a量設定，自動調節臭氧發生器的進氣出氣量、功率實現臭氧產量的自動調節。

       6、投加系統：將臭氧發生器產生的臭氧，根據實際使用需求，進行分配投加至水中或煙氣通道中，讓臭氧與需要處理的物質進行有效的化學反應。             

       7、尾氣破壞系統：在水處理應用中，臭氧不能完全被水吸收反應，有少量的臭氧溢出水面。尾氣破壞器系統，將溢出的臭氧進行收集并將臭氧分解為氧氣排放至大氣中。